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Procesos de la fotolitografía. Un ciclo típico de procedimientos en la fotolitografía podría constar de los siguientes procesos: Preparación del sustrato. Se empieza depositando una capa de metal conductivo de varios nanómetros de grosor sobre el sustrato. Aplicación de las resinas fotoresistentes.
26 de oct. de 2022 · La fotolitografía es un proceso clave en la fabricación de circuitos integrados (CI), y se utiliza para crear patrones en obleas de silicio que finalmente se convertirán en los transistores individuales y otros componentes de un CI.
Los procesos de fotolitografía se pueden clasificar según el tipo de luz utilizada, como ultravioleta, ultravioleta profundo, ultravioleta extremo o rayos X. La longitud de onda de la luz utilizada determina el tamaño mínimo de la característica que se puede formar en la fotoprotección.
La fotolitografía es uno de los procesos más repetidos en la fabricación de semiconductores. El vídeo explica cómo funciona uno de los procesos más básicos, ...
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- Institute of Microelectronics of Barcelona (CSIC)
La fotolitografía es un proceso binario de transferencia de imágenes que puede utilizarse para mejorar muchas aplicaciones de microfabricación. Los fundamentos de la preformación fotolitográfica consisten en los siguientes procedimientos: Limpieza de superficies. Recubrimiento por rotación. Cocción suave.
Figura \(\PageIndex{2}\): Configuración inicial de la oblea. Ahora lo que queremos hacer es eliminar parte del nitruro, para que podamos hacer nuestro n-pozo, pero no poner en fósforo donde no lo queremos. Esto lo hacemos con procesos llamados fotolitografía y aguafuerte, respectivamente.
25 de may. de 2021 · Un sistema de litografía (o fotolitografía) es esencialmente un sistema de proyección. La luz se proyecta a través de un plano del patrón que se imprimirá (conocido como ‘máscara’ o ‘retícula’). El plano es cuatro veces más grande que el patrón previsto en el chip.
